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飞秒脉冲烧蚀单晶硅的超快动力学

任欢 王俊波 邱荣 周强 刘浩 马平

任欢, 王俊波, 邱荣, 等. 飞秒脉冲烧蚀单晶硅的超快动力学[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 2787-2790. doi: 10.3788/HPLPB20122412.2787
引用本文: 任欢, 王俊波, 邱荣, 等. 飞秒脉冲烧蚀单晶硅的超快动力学[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 2787-2790. doi: 10.3788/HPLPB20122412.2787
Ren Huan, Wang Junbo, Qiu Rong, et al. Ultrafast dynamics of intense femtosecond laser ablation of silicon[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 2787-2790. doi: 10.3788/HPLPB20122412.2787
Citation: Ren Huan, Wang Junbo, Qiu Rong, et al. Ultrafast dynamics of intense femtosecond laser ablation of silicon[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 2787-2790. doi: 10.3788/HPLPB20122412.2787

飞秒脉冲烧蚀单晶硅的超快动力学

doi: 10.3788/HPLPB20122412.2787
详细信息
    通讯作者:

    邱荣

Ultrafast dynamics of intense femtosecond laser ablation of silicon

  • 摘要: 利用基于Pump-probe系统的超快时间分辨阴影图的方法,研究了空气中飞秒激光烧蚀单晶硅的动力学过程。实验采用脉宽为50 fs、平均能量密度约35 J/cm2的单脉冲激光烧蚀单晶硅,获取飞秒激光烧蚀单晶硅过程中等离子体和冲击波的形成和发展过程的时间分辨阴影图。实验结果表明:飞秒激光烧蚀单晶硅导致其表面物质喷发的过程是不连续的,分为明显的两次喷发过程。这表明飞秒激光与单晶硅作用的过程中,在不同的时间段可能由不同的机制主导,在前期可能是多光子电离为主,在后期可能是由多光子效应和雪崩效应共同作用。研究还发现,延迟时间较长时,冲击波形状发生畸变。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-03-21
  • 修回日期:  2012-07-09
  • 刊出日期:  2012-11-05

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