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渐变折射率Ta2O5/SiO2薄膜多脉冲激光损伤特性

蒲云体 陈松林 乔曌 刘浩 王刚 胡江川 马平

蒲云体, 陈松林, 乔曌, 等. 渐变折射率Ta2O5/SiO2薄膜多脉冲激光损伤特性[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 022019. doi: 10.3788/HPLPB201426.022019
引用本文: 蒲云体, 陈松林, 乔曌, 等. 渐变折射率Ta2O5/SiO2薄膜多脉冲激光损伤特性[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 022019. doi: 10.3788/HPLPB201426.022019
Pu Yunti, Chen Songlin, Qiao Zhao, et al. Multi-shot laser damage effects on Ta2O5/SiO2 gradient-index optical thin film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 022019. doi: 10.3788/HPLPB201426.022019
Citation: Pu Yunti, Chen Songlin, Qiao Zhao, et al. Multi-shot laser damage effects on Ta2O5/SiO2 gradient-index optical thin film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 022019. doi: 10.3788/HPLPB201426.022019

渐变折射率Ta2O5/SiO2薄膜多脉冲激光损伤特性

doi: 10.3788/HPLPB201426.022019

Multi-shot laser damage effects on Ta2O5/SiO2 gradient-index optical thin film

  • 摘要: 采用离子束溅射(IBS)的方式,制备了1064 nm高反射Ta2O5/SiO2渐变折射率光学薄膜。对其光学性能和在基频多脉冲下抗损伤性能进行了分析。 通过渐变折射率的设计方式,很好地抑制了边带波纹,增加了1064 nm反射率。通过对损伤阈值的分析发现,随着脉冲个数的增加,损伤阈值下降明显;但是在20个脉冲数后,损伤阈值(维持在22 J/cm2左右)几乎保持不变直到100个脉冲数。通过Leica显微镜对损伤形貌的观察,发现损伤诱因是薄膜表面的节瘤缺陷。通过扫描电镜(SEM)以及聚集离子束(FIB)对薄膜表面以及断面的观察,证实了薄膜的损伤起源于薄膜表面的节瘤缺陷。进一步研究得出,渐变折射率薄膜在基频光单脉冲下损伤主要是由初始节瘤缺陷引起的,在后续多脉冲激光辐照下初始节瘤缺陷引起烧蚀坑的面积扩大扫过薄膜上的其他节瘤缺陷,引起了其他节瘤缺陷的喷射使损伤加剧,造成损伤的累积效应。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-05
  • 修回日期:  2013-11-06
  • 刊出日期:  2014-02-15

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