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Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度

戴阳 吴卫东 高映雪 葛芳芳 黄竞 王海平 马婷婷

戴阳, 吴卫东, 高映雪, 等. Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(06).
引用本文: 戴阳, 吴卫东, 高映雪, 等. Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(06).
dai yang, wu weidong, gao yingxue, et al. Langmuir probe diagnosis of hydrogen plasma induced by helicon-wave under low pressure[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: dai yang, wu weidong, gao yingxue, et al. Langmuir probe diagnosis of hydrogen plasma induced by helicon-wave under low pressure[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度

Langmuir probe diagnosis of hydrogen plasma induced by helicon-wave under low pressure

  • 摘要: 为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,分析了它们随实验参数的变化规律。结果表明:射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响。随着射频射入功率增大,放电模式发生转变,电子密度跳跃增长;随着气压增大,电子密度先增大后减小,1.5 Pa为最佳电离气压,随约束磁场的增强呈线性增长;有效电子温度随功率和气压的增大而下降,随约束磁场的增强线性降低,电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动,与有效电子温度变化规律吻合。
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  • 刊出日期:  2010-06-03

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