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激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性

林景全 陈波 尼启良 曹健林 周忠源

林景全, 陈波, 尼启良, 等. 激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10.
引用本文: 林景全, 陈波, 尼启良, 等. 激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10.

激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性

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出版历程
  • 刊出日期:  1998-08-15

激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性

摘要: 给出了用于软X射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较, 给出了实验靶的一些特性。

English Abstract

林景全, 陈波, 尼启良, 等. 激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10.
引用本文: 林景全, 陈波, 尼启良, 等. 激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10.

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