X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

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X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

张继成, 唐永建, 吴卫东

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张继成, 唐永建, 吴卫东. X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.

引用本文:

张继成, 唐永建, 吴卫东. X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.

zhang ji-cheng, tang yong-jian, wu wei-dong. X-ray reflectivity characterization of thickness and mass density of α:CH films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

Citation:

zhang ji-cheng, tang yong-jian, wu wei-dong. X-ray reflectivity characterization of thickness and mass density of α:CH films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

1.
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 621 900

X-ray reflectivity characterization of thickness and mass density of α:CH films

1.
Research Center of Laser Fusion,CAEP,P.O.Box 919-987,Mianyang 621900,China

摘要: 利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度，两种方法测得的厚度平均差别为5.5%，一致性较好。利用X射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小，在8%之内。
- X射线反射法 /
- 非晶碳氢薄膜 /
- 密度 /
- 厚度
Abstract: Grazing-angle X-ray reflectivity(XRR) is described as an efficient, nondestructive means to measure the mass density of various amorphous carbon films down to the nanometer thickness range. Amorphous hydrogenated carbon films(α:CH films) are fabricated by low pressure plasma chemical vapor deposition method. The thickness of α:CH films is derived from XRR by the method of line fitting(according to the theory of modified Bragg equation) and by the period width(fringe space) of XRR. The mass density of the films is also derived from the critical angle of XRR based on the refractive theory. The results show that the thicknesses of films obtained by the two methods agree well, the average difference among them is only 5.5%. The mass density of the films’ error obtained from the critical ang
- x-ray reflectivity /
- ch films /
- thickness /
- mass density

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X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 621 900

刊出日期: 2007-08-15

关键词:

X射线反射法 /

非晶碳氢薄膜 /

摘要: 利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度，两种方法测得的厚度平均差别为5.5%，一致性较好。利用X射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小，在8%之内。

English Abstract

张继成, 唐永建, 吴卫东. X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.

引用本文:

张继成, 唐永建, 吴卫东. X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.

zhang ji-cheng, tang yong-jian, wu wei-dong. X-ray reflectivity characterization of thickness and mass density of α:CH films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

Citation:

zhang ji-cheng, tang yong-jian, wu wei-dong. X-ray reflectivity characterization of thickness and mass density of α:CH films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

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