留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响

徐世珍 吕海兵 田东斌 蒋晓东 袁晓东 祖小涛 郑万国

徐世珍, 吕海兵, 田东斌, 等. 酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(05).
引用本文: 徐世珍, 吕海兵, 田东斌, 等. 酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(05).
xu shi-zhen, tian dong-bin, jiang xiao-dong, et al. Effects of acid-etching depth on 355 nm laser-induced damage threshold of fused silica[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.
Citation: xu shi-zhen, tian dong-bin, jiang xiao-dong, et al. Effects of acid-etching depth on 355 nm laser-induced damage threshold of fused silica[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.

酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响

Effects of acid-etching depth on 355 nm laser-induced damage threshold of fused silica

  • 摘要: 采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除后损伤阈值增大,随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加,最后趋于稳定;然而,随蚀刻时间的增加,其表面粗糙度增大。分析表明,蚀刻到200 nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值,有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度。
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2189
  • HTML全文浏览量:  167
  • PDF下载量:  800
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  2008-05-15

目录

    /

    返回文章
    返回