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激光测头光束质量分析与控制

曾茜逾 曹益平 周力萍

曾茜逾, 曹益平, 周力萍. 激光测头光束质量分析与控制[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(01).
引用本文: 曾茜逾, 曹益平, 周力萍. 激光测头光束质量分析与控制[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(01).
zeng xiyu, cao yiping, zhou liping. Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.
Citation: zeng xiyu, cao yiping, zhou liping. Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

激光测头光束质量分析与控制

Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe

  • 摘要: 建立了光束质量控制的数学模型,提出了一种可定量评价光束质量的参数优化选择方法。针对激光测头进行了两片式光束质量控制光学系统的优化设计,并与光束聚焦控制、准直控制方法进行对比实验。激光结果证明:该优化光束控制系统在测量范围内既保持了光束的均匀性,光斑尺寸较小(光腰尺寸为34 μm),又保证了光束的精细度,有效地抑制了光束质量引入的测量误差,在±5 mm测量范围内,其均方根误差仅为6.3 μm,测量精度明显优于聚焦控制和准直控制系统。
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-01-15

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