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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

王加扣 吴卫东 孙卫国 邓红艳 程新路 唐永建

王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 等. 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17.
引用本文: 王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 等. 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17.
wang jia-kou, wu wei-dong, sun wei-guo, et al. Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: wang jia-kou, wu wei-dong, sun wei-guo, et al. Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave

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出版历程
  • 刊出日期:  2005-10-15

螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

摘要: 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。

English Abstract

王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 等. 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17.
引用本文: 王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 等. 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17.
wang jia-kou, wu wei-dong, sun wei-guo, et al. Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: wang jia-kou, wu wei-dong, sun wei-guo, et al. Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

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