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X射线散射法测量超光滑平面

王永刚 伏瑞敏 孟晓辉 徐领娣 金钊

王永刚, 伏瑞敏, 孟晓辉, 等. X射线散射法测量超光滑平面[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23: 13-14.
引用本文: 王永刚, 伏瑞敏, 孟晓辉, 等. X射线散射法测量超光滑平面[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23: 13-14.
wang yonggang, fu ruimin, meng xiaohui, et al. Measurement of super-smooth surface by X-ray scattering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23: 13-14.
Citation: wang yonggang, fu ruimin, meng xiaohui, et al. Measurement of super-smooth surface by X-ray scattering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23: 13-14.

X射线散射法测量超光滑平面

Measurement of super-smooth surface by X-ray scattering

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出版历程
  • 刊出日期:  2011-12-14

X射线散射法测量超光滑平面

摘要: 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小。

English Abstract

王永刚, 伏瑞敏, 孟晓辉, 等. X射线散射法测量超光滑平面[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23: 13-14.
引用本文: 王永刚, 伏瑞敏, 孟晓辉, 等. X射线散射法测量超光滑平面[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23: 13-14.
wang yonggang, fu ruimin, meng xiaohui, et al. Measurement of super-smooth surface by X-ray scattering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23: 13-14.
Citation: wang yonggang, fu ruimin, meng xiaohui, et al. Measurement of super-smooth surface by X-ray scattering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23: 13-14.

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