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13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

王占山 张众 王风丽 吴文娟 王洪昌 秦树基 陈玲燕

王占山, 张众, 王风丽, 等. 13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16.
引用本文: 王占山, 张众, 王风丽, 等. 13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16.
wang zhan-shan, zhang zhong, wang feng-li, et al. Fabrication of the multilayer beam splitters with large area for soft Xray laser interferometer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: wang zhan-shan, zhang zhong, wang feng-li, et al. Fabrication of the multilayer beam splitters with large area for soft Xray laser interferometer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

Fabrication of the multilayer beam splitters with large area for soft Xray laser interferometer

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出版历程
  • 刊出日期:  2004-09-15

13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

摘要: 基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

English Abstract

王占山, 张众, 王风丽, 等. 13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16.
引用本文: 王占山, 张众, 王风丽, 等. 13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16.
wang zhan-shan, zhang zhong, wang feng-li, et al. Fabrication of the multilayer beam splitters with large area for soft Xray laser interferometer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: wang zhan-shan, zhang zhong, wang feng-li, et al. Fabrication of the multilayer beam splitters with large area for soft Xray laser interferometer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

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