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压力对纳米金刚石膜生长的影响

胡东平 丰杰

胡东平, 丰杰. 压力对纳米金刚石膜生长的影响[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024137. doi: 10.11884/HPLPB201527.024137
引用本文: 胡东平, 丰杰. 压力对纳米金刚石膜生长的影响[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024137. doi: 10.11884/HPLPB201527.024137
Hu Dongping, Feng Jie. Influence of pressure on growth of nanocrystalline diamond film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024137. doi: 10.11884/HPLPB201527.024137
Citation: Hu Dongping, Feng Jie. Influence of pressure on growth of nanocrystalline diamond film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024137. doi: 10.11884/HPLPB201527.024137

压力对纳米金刚石膜生长的影响

doi: 10.11884/HPLPB201527.024137
详细信息
    通讯作者: 胡东平

Influence of pressure on growth of nanocrystalline diamond film

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-09-16
  • 修回日期:  2014-10-20
  • 刊出日期:  2015-01-27

压力对纳米金刚石膜生长的影响

    通讯作者: 胡东平, hud1969@163.com
  • 1. 中国工程物理研究院 总体工程研究所, 四川 绵阳 621 900

摘要: 纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景。纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备。其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化。实验通过不同压力下制备金刚石膜,采用扫描电镜进行形貌观察,并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构。实验表明,金刚石膜形态随压力变化而改变,一定压力下生长出纳米金刚石膜,降低压力则晶体颗粒变粗。分析其原因是与氢原子的运动密切相关。

English Abstract

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