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二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析

邓燕 王翔峰 嵇保健 石琦凯

邓燕, 王翔峰, 嵇保健, 等. 二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
引用本文: 邓燕, 王翔峰, 嵇保健, 等. 二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
Deng Yan, Wang Xiangfeng, Ji Baojian, et al. Effect of binary pseudo-random grating and step on system transfer function calibration of interferometric measurement system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
Citation: Deng Yan, Wang Xiangfeng, Ji Baojian, et al. Effect of binary pseudo-random grating and step on system transfer function calibration of interferometric measurement system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010

二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析

doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
详细信息
    通讯作者:

    邓燕

Effect of binary pseudo-random grating and step on system transfer function calibration of interferometric measurement system

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-12-23
  • 修回日期:  2015-03-25
  • 刊出日期:  2015-06-23

二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析

doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
    通讯作者: 邓燕

摘要: 采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。

English Abstract

邓燕, 王翔峰, 嵇保健, 等. 二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
引用本文: 邓燕, 王翔峰, 嵇保健, 等. 二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
Deng Yan, Wang Xiangfeng, Ji Baojian, et al. Effect of binary pseudo-random grating and step on system transfer function calibration of interferometric measurement system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010
Citation: Deng Yan, Wang Xiangfeng, Ji Baojian, et al. Effect of binary pseudo-random grating and step on system transfer function calibration of interferometric measurement system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071010. doi: 10.11884/HPLPB201527.071010

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