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降低表面波纹误差的加工轨迹优化方法

韩小磊 张蓉竹

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降低表面波纹误差的加工轨迹优化方法

    作者简介: 韩小磊(1992-),男,硕士,从事先进光学制造技术研究;xiaoleihan@163.com。.
  • 中图分类号: TH161

Optimizing method of machining paths for reducing ripple errors

  • CLC number: TH161

  • 摘要: 提出了一种降低光学元件表面波纹误差的加工方法。从中高频误差的产生过程出发,在常用的光栅型加工轨迹的步进方向上叠加一个随机扰动,通过破坏轨迹的规则性分布,有效抑制了特定频率的中频误差。利用信息熵原理,对生成的随机轨迹进行分析,得出其影响波纹误差抑制能力的关键因素——扰动幅值。在此基础上,对生成的随机扰动型轨迹进行平滑和改进,从而降低其对机床动态性能的要求,通过仿真模拟,验证了优化后的轨迹同样能够有效地降低光学元件表面波纹误差。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-04-09
  • 录用日期:  2019-06-13

降低表面波纹误差的加工轨迹优化方法

    作者简介: 韩小磊(1992-),男,硕士,从事先进光学制造技术研究;xiaoleihan@163.com。
  • 四川大学 电子信息学院, 成都 610065
基金项目:  国家高技术研究计划项目(2015AA8042038)

摘要: 提出了一种降低光学元件表面波纹误差的加工方法。从中高频误差的产生过程出发,在常用的光栅型加工轨迹的步进方向上叠加一个随机扰动,通过破坏轨迹的规则性分布,有效抑制了特定频率的中频误差。利用信息熵原理,对生成的随机轨迹进行分析,得出其影响波纹误差抑制能力的关键因素——扰动幅值。在此基础上,对生成的随机扰动型轨迹进行平滑和改进,从而降低其对机床动态性能的要求,通过仿真模拟,验证了优化后的轨迹同样能够有效地降低光学元件表面波纹误差。

English Abstract

参考文献 (11)

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