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kHz准分子激光器全固态脉冲激励源

王庆胜 游利兵 余吟山 赵家敏 方晓东

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kHz准分子激光器全固态脉冲激励源

    通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn

All solid state pulse excitation source for kHz excimer laser

    Corresponding author: Fang Xiaodong, xdfang@aiofm.ac.cn
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-19
  • 录用日期:  2012-11-05
  • 刊出日期:  2013-03-09

kHz准分子激光器全固态脉冲激励源

    通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn
  • 1. 中国科学院 安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031

摘要: 由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生s级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为s级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1 s级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90 ns,放电电压16.5 kV,重复频率达到1 kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。

English Abstract

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